传统的光刻技术中,镜头与光刻胶之间的介质是空气,而浸入式技术是将空气介质换成液体,得到合适波长的光,以提高成像分辨率,以下说法错误的是:
A、液体局部温度起伏会引起成像质量恶化
B、为了减少液体对光线的吸收,液层厚度不能太大
C、以纯水为介质时,可以选取任意波长紫外光为光源
D、可以注入高折射率的液体以得到更高频率的光,提高成像分辨率
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2023-01-26 17:09
传统的光刻技术中,镜头与光刻胶之间的介质是空气,而浸入式技术是将空气介质换成液体,得到合适波长的光,![]() ![]() (单选试题)
传统的光刻技术中,镜头与光刻胶之间的介质是空气,而浸入式技术是将空气介质换成液体,得到合适波长的光,以提高成像分辨率,以下说法错误的是: A、液体局部温度起伏会引起成像质量恶化 B、为了减少液体对光线的吸收,液层厚度不能太大 C、以纯水为介质时,可以选取任意波长紫外光为光源 D、可以注入高折射率的液体以得到更高频率的光,提高成像分辨率
问题补充:
【传统的光刻技术中,镜头与光刻胶之间的介质是空气,而浸入式技术是将空气介质换成液体,得到合适波长的光, 】全网正确率为:64% |